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Reinraumklassen

Um einen Reinraum betreiben zu können, müssen nach dem Bau und während des Betriebs Partikelmessungen durchgeführt werden. Aufgrund dieser Messungen kann eine Klassifizierung der Reinheit des Raumes nach einer Norm vollzogen werden.

Beispielsweise dürfen bei Klasse 100 (ISO 5) max. 100 Partikel von max. 0,5 µm Durchmesser pro Kubikfuß (3,5 Partikel pro Liter) enthalten sein.

Branchenabhängige Reinraumdefinitionen

Branche Halbleitertechnik Raumfahrttechnik Lebensmitteltechnik Pharmazie
Hauptkonta­mination Partikel Partikel Mikroorganismen Keimzahl (KB)
Hauptnorm US Federal Standard 209E, abgelöst durch ISO 14644-1 und ISO 14644-2 ECSS-Q-ST-70-01 VDI 2083 EG-GMP Annex 1

Reinraumklassen nach ISO 14644-1, Partikel je m³

Klasse ISO 1 ISO 2 ISO 3 ISO 4 ISO 5 ISO 6 ISO 7 ISO 8 ISO 9
0.1µm 10 100 1.000 10.000 100.000 1.000.000
0.2µm 2 24 237 2.370 23.700 237.000
0.3µm 10 102 1.020 10.200 102.000
0.5µm 4 35 352 3.520 35.200 352.000 3.520.000 35.000.000
1.0µm 8 83 832 8.320 83.200 832.000 8.320.000
5.0µm 29 293 2.930 29.300 293.000